微电子光电子设备保持平稳发展

作为我国半导体设备骨干企业,中电科技集团48所在承担集成电路高端核心装备离子注入机等研发生产的同时 ,适时抓住了我国光伏产业形成和发展的契机,近三年来为太阳能电池行业和集成电路行业等提供了价值近5亿元的半导体装备.2007年预计将在连续两年产量和经济规模接近翻番的基础上同比再增长50%以上,其中仅半导体设备销售额将达到3亿元.

48所生产的半导体设备主要有两大类,一类是微电子和光电子设备,主要应用于集成电路、分立器件、电力电子、led等行业;一类是太阳能电池及材料制造设备,主要用于太阳能电池制造、硅材料加工等.2007年,48所微电子和光电子设备保持了一定增速的平稳发展,部分核心设备如离子注入机等进入大生产线并出口海外,MOCVD、CMP等生产型技术取得突破.

具有明显制造业特征的IC产业、光电子产业和光伏产业未来十年在我国的发展依然会保持较高的复合增长率.集成电路前工序设备、LED设备和太阳能电池及材料制造设备仍将是48所的主要发展方向.我们将在现有设备的基础上重点研发:集成电路行业所用的12英寸线宽小于90nm的高端离子注入机、薄膜平坦化设备、立式扩散氧化炉、CMP等; 蓝光LED制造领域的生产型MOCVD;太阳能光伏领域的系列电池制造设备如环保大口径扩散/氧化炉、管式PEC VD、超短快烧炉等;硅材料加工设备如单晶炉及大容量多晶硅铸锭炉等.